DCG Systems®着眼于静态光学失效分析,推出Meridian MTM系统

蔚华科技于中国独家代理的DCG Systems®宣布推出用于常规及高难度晶圆电性失效分析的Meridian MTM 系统。Meridian M系统提供晶体管Spirox 151012
缺陷和漏电的光子发射 (EMISSION) 分析技术,及一套针对导体缺陷的静态激光激发技术,是支持内存生产和代工厂失效分析(FA)实验室的一个至关重要的工具。其高灵敏度、宽波段的DBX(TM)光学技术能捕捉到最具挑战性的缺陷,包括:

  • 先进内存件中大面积制程不均匀导致的异常泄电;
  • 存储内存单元中的字线-字线或位线-位线间高阻短路;
  • 低电压GPU及逻辑电路中的电阻故障;
  • 需要长时间信号收集的微弱EMISSION。

Meridian M系统还能捕捉到发射热波段(大于1850nm)光子的电性故障,如局部开路、高阻短路和电迁移等。

DCG Systems的Meridian产品事业部经理Praveen Vedagarbha博士表示:“静态光学失效定位分析(OFI)正在兴起。虽然动态光学失效分析对故障定位非常重要,但与之相比静态光学失效分析速度更快、使用更方便,因为它不需要与测试机结合,也不需要拥有编辑测试程序所必需的测试知识。Meridian M系统的速度和易用性在前期良率提升阶段特别有价值,因为它能及时地向制程工艺团队快速回馈故障信息。”

在各种静态光学失效分析系统中,Meridian M系统已证明能捕捉最微弱的EMISSION来定位缺陷。藉由客制设计的光学组件、用户自选的波长
范围,以及最低的背景噪声使得Meridian M系统适合各种故障类型分析,包括从常见的“光”发射,诸如过度漏电、晶体管饱和和闭锁故障,到波长更长的“热”发射,如高阻短路和掺杂剂位移。由于Meridian M系统适用于封装晶粒以及整片晶圆,因此能够轻易从事良品和不良品的对Spirox 151012A比,有助于判读复杂的EMISSION图像。

DCG Systems的Meridian拥有行业领先的装机量。产品面涵盖晶圆以及封装晶粒,应用于所有领先的半导体设计公司、代工厂商及集成器件制造商(IDM)。欲了解Meridian M系统详情,请访问Meridian M产品页面

關於蔚華科技
蔚華科技成立於 1987 年,總公司設於臺灣新竹。蔚華科技提供半導體、平面顯示器、微機電系統與其他高科技產業相關產品及整合性服務。從IC設計、晶圓製造、封裝、測試、驗證、診斷與特性分析、量測工具、生產資訊系統整合等的研發、製造、通路銷售及技術支援之領導廠商。目前全球據點遍及臺灣、美國、中國大陸以及香港。蔚華科技網址:www.spirox.com.tw

关于DCG Systems, Inc.

DCG Systems, Inc.是行业领先的电性失效分析、定位和电路修改设备供货商,应用于广大半导体和电子制造商的工艺开发、良率提高和失效分析(见半导体行业顶级缺陷分析系统供货商)。DCG Systems已在全球部署了超过1500套系统,通过位于加州弗里蒙特的总部以及设在美国、日本、台湾、韩国、马来西亚、新加坡、以色列和德国的办事处为全球客户提供服务。欲了解DCG Systems的详情,请访问: dcgsystems.com

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